Folien aus Invar 36® von Zapp weisen engste Dickentoleranzen, erstklassige Reinheit und eine hervorragende Oberflächenbeschaffenheit auf. Der Werkstoff 1.3912 ist auch als Ni36 oder Alloy 36 bekannt. Es handelt sich um eine Eisen-Nickel-Legierung mit 36 % Nickelanteil.
Thermischer Ausdehnungskoeffizient zwischen 20 und 100°C:
0,8 x 10-6/K ≤a ≤1,6 x 10-6/K
Das spannungsarm geglühte Material wird für Ätz- oder photochemische Bearbeitungsprozesse und für Prozesse bei erhöhten Temperaturen empfohlen, bei denen die Dimensionsstabilität für die Herstellung von Strukturen oder Bauteilen wesentlich ist.
| Ni | C | Cr | Mn | S | Si | Fe | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| min. | 35,0 | - | - | - | - | bal. | |
| max. | 37,0 | 0,05 | 0,10 | 0,50 | 0,005 | 0,30 | bal. |
Die Strukturierung von Masken erfolgt in der Regel durch einen photochemischen Ätzprozess, bei dem Material abgetragen wird, um durchgehende Öffnungen zu erzeugen. Um die gewünschte Form und die Toleranzen nach dem Ätzprozess beizubehalten, müssen die Eigenspannungen minimiert werden. Darüber hinaus ermöglicht die geringe thermische Ausdehnung und deren enge Kontrolle den Einsatz des SuperClean Invar36 Werkstoffs aus dem Hause Zapp in einem breiten Temperaturbereich, auch in Kombination mit anderen Materialien.
Die Formgenauigkeit unserer superreinen Ni36-Präzisionsfolien ist so hoch, dass periodische Muster unter 30 Mikrometern durch photochemische Bearbeitung hergestellt werden können. Die Kombination aus unserem Know-how und modernen Anlagen ermöglicht es uns, exzellente Ebenheit und enge Toleranzen zu produzieren.
SuperClean Invar-Folien von Zapp sind weitgehend frei von Wellen und Eigenspannungen. Für sehr präzise Mikrostrukturen haben unsere Metallurgen mit unseren Lieferanten spezielle metallurgische Wege entwickelt, um höchsten Ansprüchen gerecht zu werden. Neben den Standard-Metallurgie-Routen haben wir Zugriff auf verfeinerte Schmelzverfahren wie das Elektroschlacke-Umschmelzen (ESR) und das Vakuum-Lichtbogen-Umschmelzen (VAR) mit verbesserter Reinheit. Für spezielle Anwendungen können wir unser noch reineres Material Zapp SuperClean für Muster bis zu wenigen Mikrometern anbieten. In Bezug auf sehr kleine Einschlüsse ist das Material deutlich sauberer als umgeschmolzenes Material. Dies ist für die Herstellung von sehr kleinen Öffnungen unerlässlich.
DATENBLATT ZAPP SUPERCLEAN INVAR-FOLIEN (ENGLISCH)
Broschüre Ni36 - Ätz- und Laserschneidanwendungen (Englisch)
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